随着微纳米工艺的发展，对于微纳米级精密定位装置的需求也不断增加，在桌上工厂工作台、精密显微镜载物台、生物医疗器械、半导体设备、手机终端检测、手机屏光学 检测、超精密摄像机摄像头等需要精密定位的装置上，微米甚至纳米级微动台的应用相当的广泛而且越来越起着决定性的作用，所以大力发展微动台技术是相当必要而且亟待的。

压电精密微动台是利用压电陶瓷的逆压电效应、摩擦传动以及弹性体谐振变形放大原理，推动动子运动，将电能转化为机械能的一种驱动设备。它具有结构简单紧凑、保持力大、断电自锁、定位精度高、响应快、无电磁干扰等优点，在工业领域有着独特的优势。

我司已开发的可直线精密定位的压电定位微动台技术（共振型），以及多层小型精密微动台（非共振型）。前者定位平台的最大运行速度是250 mm/s，最大推力是14N，定位精度±1μm，重复定位精度±0.5μm。后者外形尺寸70 x 20 x 25mm，行程60mm，速度10mm/s，定位精度明显高于前者。

 一、超精密压电陶瓷微动台技术 

中型压电微动台（左图）；共振模拟测试（右图）

图：小型压电微动台

二、微型压电执行器  
 

（可用于手机潜望镜头模组）

压电螺纹驱动器，作为压电驱动器的一种，是一种使用压电陶瓷弯曲变形和螺纹摩擦驱动相结合的方式产生直线位移的一种压电驱动器。我司曾研发的一款基于螺纹驱动原理的压电驱动器，该压电螺纹驱动器采用压电圆管的弯曲振动，在圆管的两端产生类似呼啦圈式的摇摆振动，然后通过固定在圆管上的螺母-螺杆副将摇摆振动转化为螺杆的旋转运动，进一步转化为螺杆的直线运动，适用于对驱动器有大推力-高精度-微小体积要求的应用场合，该驱动器不产生电磁干扰，已经成为电磁电机应用时的一个有力补充，在特殊环境下的超精密定位、精密仪器、光学仪器、生物器械、医疗设备、微机电系统等方面有着广泛的应用前景。诸如“新思考”等国内外企业已开始研究该技术用于手机光学模组领域，实现光学系统的机械式大行程变焦。

该驱动器具有以下的优点：

☑ 结构简单、小巧，仅由压电陶瓷圆管、螺母、螺杆组成；

☑ 微米级的定位分辨率；

☑ 0-10 mm/s的直线运动速度；

☑ 断电自锁；          

☑ 可根据实际应用选择相应的行程；

☑ 工作时安静、无噪声产生。

 三、微型压电驱动器 
 

（可用于机械式光学聚焦）

利用压电陶瓷可实现精密驱动、响应速度快、无电磁干扰、且小型化之后仍可以带动执行负载等特点，可以将光学镜头内嵌到压电驱动元件内部，实现光学与驱动系统的高度集成，这是目前传统电磁驱动原理的器件所无法达到的特点，该技术曾经演示给手机国外客户，引起极大关注。我司研制的样品是按照目前手机镜头的规格制备的，目前仅具备聚焦功能，利用该技术可实现镜头的机械方式快速聚焦，该技术可作为小尺寸且高集成度的镜头解决方案。该驱动器如果采用叠层压电陶瓷，则驱动电压可进一步降低，控制在手机等便携式电子产品要求的电压范围之内。该技术可用于手机、无人机等需要光学聚焦但又受到使用空间或重量严格限制等场合。